第0159章 生根发芽

月，终于在光束稳定技术上取得了成果。

    “2001年11月17日，晴。

    孟谦内心翻滚，曾经那一世，他没有机会也没有资格见证华夏老一辈科研者的实力，这一世，他是何其幸运，可以亲眼目睹。

    ……

    “不仅仅只是我们的研究，而是围绕我们的研究，把能申请的专利都申请了，我要的效果就是以后别人想搞浸没式光刻机，就是想用水都得得到我的点头！”

    此时的长春实验室。

    “你们打算去哪挖？”

    这只是半年的成就，一年后，两年后，五年后呢？

    “王院士，供电系统已经准备完毕。”

    只是徐国华一脸委屈道，“老梁，你故意馋我是不是？”

    孟谦点头，梁志国都这么说了，他也不多质疑，“对了，有一件事情梁老师记得去办一下。”

    “对啊，咱以后的主要对手就是个流氓，跟流氓竞争，难不成还跟他讲道理？他能讲道理见了鬼了。

    “开始实验。”

    “只要有用武之地，自然会有人回来。”

    “申请专利。”

    “是。”

    “2001年12月5日，晴。

    梁志国跟朱卫军又对视了一眼，用眼神交流了一会儿后，最终决定就按孟谦说的去做。

    该项研究将对光刻机研发产生巨大影响。”

    就比如他参与到公司光刻机项目之后……

    孟谦听明白了梁志国的意思，“可他们要回国早回国了吧，叫的回来么？”

    现在通过非球面元件和反射元件的配合，我们有望突破这一技术难点，虽然这一次的元件基本是在霓虹国定制的，但解决了上游难题，下游元件的自研只是时间问题。”

    “2001年9月19日

    徐国华的笔记本上记录的不仅仅只是他的经历，他之所以跟孟谦说看看自己的笔记本能不能帮到自己，是因为上面还记录着他这么多年的技术积累。

    梁志国接过酒菜，笑道，“不管怎么说，今天是个大喜的日子，整点？”

    “是。”

    而这种区别就会带来设备上的巨大区别，比如精密机械方面，实验不需要达到纳米级的自动化机械水平，你甚至拿手操控都行。

    提升光刻机分辨率的方法有三个，缩短波长，增加数值孔径，减小K1因子。前段时间，江大带来的浸没式光刻机概念，可以大大提升折射率，从而增加数值孔径。

    研究了相干因子调整系统中可能存在的各种误差源对相干因子、光瞳椭圆度、光瞳极平衡性、远心度的影响。”

    “嗯？什么意思？”孟谦不是很理解梁志国的意思。

    我国光刻机领域取得了跨时代的突破……”

    所以这次实验的目的一是进一步证明了方向正确后，可以给大家更大的信心，浸没式光刻机可以突破现在整个光刻机行业的瓶颈，搞定米国人和霓虹人搞不定的事情，如果这个东西真的可行，对华夏这个领域的科研人员来说意义极其重大。

    通过徐国华的笔记本，孟谦基本了解了光刻机项目这半年的研发|情况和主要成就，虽然只有半年的时间，还无法实现更全面的自研自产，但一个又一个核心技术的突破，是华夏科研力量最好的展现。

    “好啊。”孟谦自然不拒绝。

    徐国华大为震惊，孟谦则配合着震惊一下，“接下去的研发计划是什么？”

    这是意义深远的一天，物镜高数值孔径和极小的系统波像差矛盾一直都是光刻机物镜领域的最大难点。

    针对入射准分子激光强度的波动性和强度分布的随机性，提出采用阵列型照明模式变换元件对光束进行变换，以实现各种照明模式下光瞳的对称性和一致性。

    “孟总，几点了？”这是徐国华今天第五次问这个问题了。

    2001年12月11日，沪上微电科长春实验室将进行一次曝光系统实验。

    ……

    ……

    光刻机设计的核心技术实在太多了，光是一个曝光系统涉及的专利就能有上千个，曾经那一世，这些核心技术基本上跟华夏都没什么关系。

    “挖人！”

    中午，送餐的人来了，孟谦小心翼翼的将徐国华的笔记本放回到抽屉里。

    即便2001年的光刻机技术攻坚要比2019年容易很多，但也不至于这么快。今天这个实验的目的，是为了进一步证明浸没式光刻机的发展方向是正确的。

    为了更好的配合全新的浸没式光刻机概念，我们与长光所合作，在激光器上实现了巨大突破。

    实验结果令人振奋。”

    清华，燕航以及长光所成功合作研制了全新衍射光学元件，极大的降低了杂散光的影响，全新的算法将为我们自主研发的光刻机提供强有力的技术支持。”