第0159章 生根发芽

    午饭后，一晚没睡的孟谦迷了一觉，下午三点，因为被护士查房吵醒，孟谦简单洗了把脸继续等待。

    光刻机这块大骨头，正在一点一点的被华夏科研人员啃食。

    这就好比林本坚带着理论找到尼康的时候人家并不搭理他，理论终究是理论，还是需要上升到实际运用的。

    上午9点，长春实验室内，有一台看着明显要比光刻机粗糙很多的东西。进一步的验证研究方向的正确性和实际生产出一台光刻机的最大区别就在于，不需要真的完成芯片的光刻行为，只需要能顺利采集一些数据即可。

    梁志国坐到病床旁，一脸的亢奋，“浸没式光刻机这个方向应该确实没有错，而且从今天的实验数据分析来看，浸没式光刻机极有可能把光刻机工艺向前推3-4代！”

    但现在，在华夏的土地上，科研力量正在光刻机领域生根发芽。

    “2001年1月8日，晴。

    就在这时，门外又传来一阵脚步声，梁志国的学生拎着几个菜和三瓶二锅头进门。

    孟谦悬了一天的心终于放下，“梁老师说说具体情况吧。”

    “什么？”

    由长光所和江大共同组建的扩束系统小组带来了好消息，全新设计的系统可以满足光束在5-20m传输光路范围内不需要进行透镜间隔调节，实现光斑大小和发散角满足设计要求，保证目标光束口径在（28.5±0.5）Mm范围内，X方向发散角为1.2mrad，Y方向发散角为1.84mrad。

    “11点半。”孟谦把菜盒打开，“至少得到晚上才能出结果吧，徐老师再耐心等等。”

    但有些东西还是会有要求的，比如光源质量。

    “打开遮光器。”

    “2001年12月1日，晴。

    ……

    9点整，实验准备开始，孟谦则继续翻看徐国华的笔记本。

    电极采用张氏均匀场型面电极，电极有效平取宽5mm，电极长80cm，两电极之间距离2.1cm。”

    “额……”梁志国跟朱卫军对视了一眼，“孟总，这不是……搞技术流氓么？”

    徐国华自然是一点酒都没沾，在梁志国的学生去送他们三人时，取出了抽屉里的笔记本，用笔写道。

    “2001年11月28日，晴。

    “哈哈哈，你那份我替你喝了。”

    梁志国解释道，“我们现在把能整合的力量都整合起来了，但这也就暴露了我们在某些方面的人才空白现实，光刻机的细分领域太多，虽然不可能全部自研，但几个相对核心的领域我们不能放手。

    此时的长春实验室。

    之前纪凯论证了浸没式光刻机的可行性，但更多是属于理论上的结论。

    而在这个基础上，就可以更放心的投入更大的财力和精力了，特别是想要让国家投入更多的话。

    你们尽管耍流氓去，我是老板，以后世人要骂，随便骂我，反正我无所谓。”

    所以对于一些人才空白的核心领域，现在从头开始培养肯定来不及了，只能靠挖人。”

    “王院士，可以进行数据采集了。”

    今天从江大的李教授提出了一个前沿的研究，针对准分子光源特性，提出了基于光棒和复眼的实现对掩膜面高均匀照明的两种方法。

    之前一再提到过，光刻机最核心的两个东西是镜头和光源，而今天这场实验的目的，倒不是说直接就搞定了镜头光源，这是不可能的，地表最强组合成立才半年，国家项目下来后的大佬加盟更是不过两个月的时间。

    “王院士，光源能量稳定，光斑数据正常。”

    此时的长春实验室。

    “孟总，老徐！”梁志国一进门，脸上已经写满了答案。

    “2001年12月12日，晴。

    此次的光束稳定系统包括光束测量和光束转向两大核心功能模块，在推导了两个模块之间的光束传递矩阵后，王院长非常大胆的决定搭建光电闭环控制系统，通过引入已知光束偏移量后，数据显示，系统的指向稳态误差低于±3μrad，位置稳态误差低于±0.04mm，系统调整时间小于80ms。

    “放心，我们这次的研究都已经申请了专利。”

    傍晚五点，孟谦跟徐国华终于等来了两个风风火火的脚步声。

    虽然表面上表现的还算平静，但事实上四个人内心的翻滚都是强烈的，这酒一喝就有点喝高了。

    “我们已经整理过各大高校的校友资源了，这些空白领域在国外都有些对应的人才。”

    晚上梁志国的学生留下来陪徐国华，三人则一起回酒店休息去了。

    我们研发了一种高功率193nm准分子激光器，使用氟气、氩气以及氦气混合气体作为工作介质，可输出ArF最大脉冲激光能量424毫焦耳，总功率基本稳定在1%。激光器由内径8.4cm的玻璃钢圆筒做成，总长94cm。

    “开始吧。”

    王院士的加入让团队信心大增，30多名科研人员连续攻坚一个月，终... -->>
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